刻蚀机NLD-570
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所在地 | null null | 可售量 10000件 |
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青岛泰斯迈仪器设备有限公司
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刻蚀机NLD-570
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基本参数
NLD-570 | NLD-570 | 刻蚀机 | 刻蚀机 |
刻蚀机NLD-570 | 刻蚀机NLD-570 | 刻蚀 | 刻蚀 |
干法刻蚀设备 | 干法刻蚀设备 | 爱发科 | 爱发科 |
刻蚀设备 | 刻蚀设备 | 刻蚀设备NLD-570 | 刻蚀设备NLD-570 |
产品简介:
产品特性:
NLD用于与ICP方式相比更低压、高密度、更低电子温度等离子体的石英、玻璃、水晶、LN/LT基板的加工
? 高硬玻璃、硼硅酸玻璃等不纯物的多种玻璃加工,在形状或表面平滑性方面有优异的刻蚀性能
? 石英及玻璃作为厚膜resist mask时的也可实现深度刻蚀(100μ m以上)
? 可实现高速刻蚀(石英>1μ m/min、Pyrex>0.8μ m/min)
? 可追加cassette室
产品应用:
? 光学器件(光衍射格子、変调器、光开关等等)、凹凸型微透镜
? 流体路径作成或光子学结晶
青岛泰斯迈仪器设备有限公司
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张女士
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