金属靶材高纯银靶材平面银靶材旋转银靶材

价格	￥190.00/千克	￥180.00/千克
起订量	≥10	≥100
所在地	广东广州	可售量 99999千克

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广州市尤特新材料有限公司

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所在地区：广东广州

主营产品：磁控溅射靶材、陶瓷靶材、金属靶材、ITO靶材

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基本参数

产品特性	高纯银靶材	品种	银板
银板规格	1200120050	纯度	99.99
货号	UVTM	光洁度	100
抗拉度	100	延伸力	100
品牌	UVTM

半导体芯片行业用的金属溅射靶材，主要种类包括：铜、钽、铝、钛、钴和钨等高纯溅射靶材，以及镍铂、钨钛等合金类的溅射靶材。铜靶和钽靶通常配合起来使用。目前晶圆的制造正朝着更小的制程方向发展，铜导线工艺的应用量在逐步增大，因此，铜和钽靶材的需求将有望持续增长。铝靶和钛靶通常配合起来使用。

目前，在汽车电子芯片等需要110nm以上技术节点来保证其稳定性和抗干扰性的领域，仍需大量使用铝、钛靶材。高纯贵金属靶材被誉为半导体芯片材料的王者，半导体产业对溅射靶材和溅射薄膜的品质要求非常高，随着更大尺寸的硅晶圆片制造出来，相应地要求溅射靶材也朝着大尺寸、高纯度的方向发展，同时也对溅射靶材的晶粒晶向控制提出了更高的要求。