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美国ThermionicsRCR系列3kW多坩埚旋转电子枪

价格 6000.00/台
起订量 ≥1
所在地 上海 上海 可售量 10台

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基本参数

品牌 美国Thermionics 型号 RCR0304-SD
包装 全包 产地 美国
发货期限 30天 分类 电子枪
经营模式 经销 运输方式 空运
执行质量标准 美标 最小订量 1

RCR系列3 kW多坩埚旋转电子枪

新的Thermionics研究能力系列3 kW多坩埚旋转e-Guns™,提供了增强的光束稳定性和有效的XY扫掠,并带有自动定位器提供的自动定位功能,可完全坩埚覆盖,需单独购买。

特征

  • 真正的XY扫描,完全覆盖坩埚

  • 源随附的扫频线圈

  • 增强光束准直

  • 插入式发射器模块

  • 增强的高稳定性冷却

  • 交叉污染屏蔽

  • 坚固的设计

  • 可选的自动索引器

 多坩埚电子枪的工作原理与单坩埚源相同,具有以下优点:

  • 大量的蒸发剂—当每个坩埚都充满相同的原料时,可以在单个真空循环中蒸发增加体积的蒸发剂。

  • 在一个真空循环中最多可以沉积八种不同的材料-在单个真空循环中,可以将不同的材料放入每个坩埚中,并以任意顺序沉积。沉积速率与单坩埚模型的沉积速率相同。一次仅加热一个坩埚。单根灯丝保持静止,坩埚头被驱动手柄转位。因此,蒸发总是源自真空室中完全相同的位置。不活动的坩埚通过磁极件与加热的坩埚隔离开,从而消除了坩埚之间的污染。

高真空兼容

金属和弹性体密封件,测得的基本压力:2 x 10 -9  托。

可互换坩埚

主坩埚轮可从源顶部卸下,而无需完全拆卸源。这种灵活性允许现场升级。

特价商品

所有多个坩埚电子枪都可以单个或背对背安装在较大直径的ConFlat或矩形PyraFlat法兰上。

技术指标

运营压力 低于5 x 10 -5  托是理想的最佳操作
束电压 4,000伏
束流 0–750 mA连续可变
最大功率 3,000瓦
冷却水 1.5加仑/分
最高烘烤温度 120°C(150°F(华氏))
坩埚体积 2.24 cc x 4、6或8个坩埚

安装配置

每个e-Gun™都有三种标准安装配置:

  • e-Gun™安装在PyraFlat或ConFlat金属密封型法兰上,该法兰使用标准的OFE铜垫片

  • 具有1“直径螺栓型安装座的e-Gun™,可通过1”直径孔安装,并通过压缩O形圈密封

  • 单独的e-Gun™,没有安装法兰

请在下订单时指定安装配置;费用  可能  不包括螺栓型或法兰型安装。

常规提供其他安装法兰,配置和几何形状,请致电工厂以获取更多信息。

订购信息

型号。 坩埚
RCR0304-SD 4
RCR0304-BD 4
RCR0306-SD 6
RCR0306-BD 6
RCR0308-SD 8
RCR0308-BD 8

注意:SD表示侧面驱动器,BD表示底部驱动器


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