五(二甲氨基)钽(V)

价格	￥100.00/瓶
起订量	≥1
所在地	广东深圳	可售量 10000瓶

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深圳金谷气体有限公司

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所在地区：广东省深圳市

主营产品：深圳气体、高纯气体、混合气体、标准气体

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基本参数

品牌	深圳气体	含量	≥99.99%
含量≥	≥99.99%	CAS	19824-59-0
颜色	白色

PDMAT
五(二甲氨基)钽(V) (C10H30N5Ta)

化学式	C10H30N5Ta
中文名称	五（二甲氨基）钽(V)
英文名称	PDMAT
CAS No.	19824-59-0
分子量	401.3266
充装系数
应用	氮化钽 (TaN) 薄膜的挥发性固体 CVD 前体。当在沉积过程中存在 O2、H2O、NO 或 H2O2 时，还会形成氧化钽 (Ta2O5) 薄膜。 Ta2O5 薄膜作为集成电路制造中的栅电介质材料具有广阔的应用前景。
产品规格	≥99.99%

Pentakis‐dimethylamino Tantalum (PDMAT) is a solid source material for chemical vapor deposion or atomic layer deposion of highly conformal tantalum oxide or tantalum nitride ﬁlms.

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