皕赫国际贸易（上海）有限公司

主营产品：粘度计、流变仪、近红外光谱仪、量热仪

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IDONUS UV-LED Photolithography Exposure system 紫外LED光刻曝光系统,

价格	￥400000.00/台
起订量	≥1
所在地	上海上海	可售量 10000台

联系人：龚经理

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基本参数

品牌	Idonus	型号	UV-EXP150R
类型	光刻UV-LED曝光系统	外形尺寸	50x30x30
产地	瑞士

Idonus基于高功率LED和高档微透镜阵列的基础上提出了一个革命性的紫外光照系统。
这个产品应用于光刻胶曝光工艺，适用多种基材。光照质量保证了高的同质性的临界尺寸和整个面上的侧壁角。实际上，由于使用了一种完全远心的光学，我们的设计提供了完美的稳定光照条件，即整个表面的高同质性的强度和低的发散角。

可以根据用户需求进行产品开发定制，可以极大缩短您的想法变成产品的时间。

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LED BENEFITS优点
目前随着LED技术的发展，紫外LED表现出了比汞光源更大的优势。
● 长寿命LED，测试不需要耗材
● 不需要每天校准，即刻稳定光照
● 有限的发热，这降低了空气冷却费用
● 低功率消耗
● 光源仅仅在曝光时开启（不需要快门）
● 用户可以根据需求进行照射系统定制。
也可以按照用户旧机器的尺寸设计照射系统，以替代旧的机器上的汞灯照射系统。

TYPICAL PERFORMANCES 典型参数
分辨率：0.5 μm
光学功率：20 to 200 mW/cm2
曝光区域：50x50 to 300x300 mm2
光学辐照不均匀性： ±2%
最大发散角(FWHM) ：±1.5°to 3°
波长：365 / 385 / 405 nm
光谱半宽幅：12 nm
设备尺寸： 65x30x30 cm3
总功率：20 to 1200 W

EXAMPLE SYSTEM SPECIFICATIONS 系统规格举例可能的曝光系统的不同配置如下表所示，系统可以根据您的需要设计。
System Type 系统型号	A	B	C
Resolution [um] 分辨率	2	1	1
Optical power [mW/cm2] 光学功率	42	152	165
Exposition area [mm2] 曝光面积	80x80	100x100	300x300
Optical irradiance inhomogeneity [%] 光照幅度不均匀性	±2	±2	±2
Max divergence angle [°] (Full Width Half Maximum) 最大发散角（半宽幅）	±2.5°	±1.5°	±1.5°
Wavelength [nm] 波长	405	365	385
Spectrum half width [nm] 光谱半宽幅	12	12	12
System size [cm] 系统尺寸	65x30x30	65x30x30	1100x60x60
Power consumption [W] 功耗	20	180	1200

产品选型：

Characteristics \ System type	UV-EXP150R	UV-EXP150S	UV-EXP200S	UV-EXP300S	UV-EXP600S
Useful exposure area曝光区域	Ø 150 mm	150 × 150 mm2	200 × 200 mm2	300 × 300 mm2	600 × 600 mm2
Wavelength 波长 (single or mixed)	365 nm and/or 385 nm / 395 nm / 405 nm all models can be configured with UV-LEDs with multiple wavelength peaks
Irradiance 辐射度 (@385/395/405 nm)	50 mW/cm2	50 mW/cm2	30 mW/cm2	17 mW/cm2	30 mW/cm2 multiple LEDs
Irradiance 辐射度 (@365 nm)	40 mW/cm2	40 mW/cm2	25 mW/cm2	12 mW/cm2	20 mW/cm2 multiple LEDs
Irradiance inhomogeneity 辐照度不均匀性 ±(max-min)/ (max min)	±3%	±3%	±3%	±3%	±3%
Max. collimation angle最大的准直角度 (±α, FWHM)	±1.8°	±1.8°	±1.4°	±1.0°	±2.0°
Working Distance (WD) *工作距离	350 mm	300 mm	400 mm	300 mm	300 mm
Ext. dim. H × W × D (lamphouse only)	610 × 302 × 244 mm	607 × 352 × 294 mm	728 × 412 × 354 mm	936 × 560 × 504 mm	1500 × 1100 × 900 mm
Ext. dim. H × W × D (complete system)	1000 × 480 × 330 mm	960 × 500 × 420 mm	1170 × 530 × 520 mm	1270 × 670 × 670 mm	**