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宝鸡宏晟拓金属材料有限公司
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公司官网: http://www.hstmetals.com/
所在地区:陕西省 宝鸡市
主营产品: 钛及钛合金材料、镍及镍合金材料、锆及锆合金材料、钛板、钛棒、钛管、钛丝、钛靶材、钛锻件、钛设备、镍板、镍棒、镍管、镍丝、钨坩埚、钨舟、钨棒丝、钨管、钼坩埚、钼舟
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牌号 | W1 MO1 | 用途 | 稀土、真空炉、玻璃纤维、工业陶瓷、化工机械、医疗器械、军工、船舶、电子化工、仪器仪表、真空镀膜、航天航空等领域 |
杂质含量 | 0.001 | 执行质量标准 | GB/T337.1-02 |
重量 | 1 | 品牌 | 宏晟拓 |
产地 | 宝鸡 | 品名 | 纯钨 |
CAS | 1312-81-8 | 材料 | 纯钨 |
产品等级 | 工业级 | 封装外形 | 标准包装 |
规格 | 按图纸加工 | 含量 | 99.95 |
目数 | 120 |
溅射靶材的要求较传统材料行业高,一般要求如,尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量、密度、N/O/C/S、
溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。
分类
根据形状可分为方靶,圆靶,异型靶
根据成份可分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材
根据应用不同又分为半导体关联陶瓷靶材、记录介质陶瓷靶材、显示陶瓷靶材、超导陶瓷靶材和巨磁电阻陶瓷靶材等
根据应用领域分为微电子靶材、磁记录靶材、光碟靶材、贵金属靶材、薄膜电阻靶材、导电膜靶材、表面改性靶材、光罩层靶材、装饰层靶材、电极靶材、封装靶材、其他靶材
磁控溅射原理:在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场,在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气),永久磁铁在靶材料表面形成250350高斯的磁场,同高压电场组成正交电磁场。在电场的作用下,Ar气电离成正离子和电子,靶上加有一定的负高压,从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大,在阴极附近形成高密度的等离子体,Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面,以很高的速度轰击靶面,使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。磁控溅射一般分为二种:支流溅射和射频溅射,其中支流溅射设备原理简单,在溅射金属时,其速率也快。而射频溅射的使用范围更为广泛,除可溅射导电材料外,也可溅射非导电的材料,同时还司进行反应溅射制备氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。若射频的频率提高后就成为微波等离子体溅射,常用的有电子回旋共振(ECR)型微波等离子体溅射。
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公司地址:
陕西省宝鸡市渭滨区宝钛路温泉工业园
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